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ST8000-MAP은 Chanel부 내 잔류 Half Tone PR (HT PR) 전용 두께 측정기 입니다. Robot을 이용하거나 수동으로 Glass를 1매씩 본 장비에 Loading하여 Transparent thin film의 두께를 비접촉, 비파괴의 광학적 방법으로 측정합니다. 사용 목적에 따라 투과율 측정, R/S(면저항측정), CD(선폭)측정, C/A(접촉각측정), RI(굴절률) 측정을 옵션으로 선택 할 수 있으며, CIM S/W 기능 지원이 가능하여 매 측정 결과를 편리하게 host에 전송 할 수 있습니다.



 측정원리 Reflectometry
 시스템 구성

Programmable automatic X,Y stage : 1 set
Optical measuring head : 1 set
Work plate for glass loading : 1 set
Housing / cover: 1 set
Control unit: 1 set
Antivibration table: 1 set
Standard reference materials: 1 set

 특징

비접촉, 비파괴 검사
Chanel부 내 잔류 Half Tone PR (HT PR)전용 두께 측정기
Sub-micron spot size 구현
편리한 두께 측정 관리
2가지 두께 관리 Mode 지원(Operator mode / Engineer mode)
사용목적에 따라 Option 추가 가능
Pattern matching 기능 지원
초정밀, 초고감도 측정기기

 용도

LCD process photo팀 전용 두께 측정기
- Chanel부 내 Half Tone PR (HT PR) 전용



 Stage size 370mm x 470mm ~
 Measurement range 2000Å~2.5㎛ (Depend on materials)
 Spot size 0.15㎛ x 0.15㎛
 Application areas

Half Tone PR (HT PR) Process
LCD Process Photo
3 Mask

 Function

All capability of ST6000
Half Tone PR (HT PR) measurement
Multi point measurement
Sub micron spot size
Full automatic thickness measurement
Fine pattern measurement
Auto focusing
CCD camera
Pattern recognition
CIM communication

 Option

CD (Critical Dimension)(선폭) measurement
R/S(Resistance Sheet)(면저항) measurement
(Type: 4PP, 2PP, Non contact)
C/A(Contact Angle)(접촉각) measurement
Transmittance(투과율) measurement(Fixed point type)
RI(Reflect Index)(굴절률) measurement
3D measurement (White-light scanning interferometer)
| 비성막 Measurement