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FPD(Cell, CVD, Dry, Sputter, EL)전용 두께 장비인 ST6000은 Robot을 이용하거나 수동으로 Glass를 Loading하여
Transparent thin film의 두께를 비접촉, 비파괴 광학적 방법으로 측정하는 System입니다.
사용 목적에 따라 투과율 측정, R/S(면저항측정), CD(선폭)측정, C/A(접촉각측정), RI(굴절률) 측정 기능을 옵션으로 선택 할 수 있으며, CIM S/W 기능 지원이 가능하여 매 측정 결과를 편리하게 host에 전송 할 수 있습니다.



 측정원리 Reflectometry
 시스템 구성

Programmable automatic X,Y stage : 1 set
Optical measuring head : 1 set
Work plate for glass loading : 1 set
Housing / cover: 1 set
Control unit: 1 set
Antivibration table: 1 set
Standard reference materials: 1 set

 특징

비접촉, 비파괴 검사
편리한 두께 측정 관리
2가지 두께 관리 Mode 지원(Operator mode / Engineer mode)
빠른 측정 속도
사용목적에 따라 Option 추가 가능
Pattern Matching 기능 지원
초정밀, 초고감도 측정기기

 용도

FPD 전용 광학식 두께 측정기 (LCD, OLED, PDP)
- Dry,CVD,CELL,Sputter,EL팀용 두께 측정기
빠른 두께 측정 속도에 따른 공정 수율 향상 목적



 Stage size 370mm x 470mm ~
 Measurement range 100Å~35㎛ (Depend on materials)
 Spot size 40㎛, 20㎛, 4㎛
 Application areas

LCD, OLED & PDP processes
Dry, CVD, CELL, Sputter, EL
3 Mask

 Function

Full automatic thickness measurement
Fine pattern measurement
Auto focusing
CCD Camera
Pattern recognition
CIM communication

 Option

CD (Critical Dimension)(선폭) measurement
R/S(Resistance Sheet)(면저항) measurement(4PP, 2PP, Non contact)
C/A(Contact Angle)(접촉각) measurement
Transmittance(투과율) measurement(Fixed point type)
RI(Reflect Index)(굴절률) measurement
3D measurement (White-light scanning interferometer)
비성막 Measurement