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케이맥의 SCM은 Robot을 이용하거나 수동으로 Glass를 1매씩 Loading하여 C/F Process상 Thin film의 분광(색도), 반사율, 투과율을 비접촉, 비파괴, 광학적 방법으로 측정하는 System입니다. 상. 하부 Detector와 광원의 동시 구동으로 System size를 최소화한 Gantry 구동 Type이며, System의 Sample plate-bar를 움직일 수 있어 Glass의 전영역을 측정 할 수 있도록 설계 되었습니다.
사용 목적에 따라 두께(R.G.B PR) 측정, OD(Optical Density)(광밀도)측정, CD(선폭)측정, R/S(면저항) 측정을 옵션으로 선택 할 수 있으며 CIM S/W 기능 지원이 가능하여, 매 측정 결과를 편리하게 host에 전송 할 수 있습니다.



 측정원리 Reflectometry
 시스템 구성

Programmable automatic stage for 상부 분광 측정용 Head moving: 1 set
Programmable automatic stage for 하부 분광 측정용 Head moving: 1 set
Sample bar for glass loading
상부 Optical measuring head: 1 set
하부 Optical measuring head: 1 set
Housing / cover: 1 set
Control unit: 1 set

 특징

비접촉, 비파괴 검사
편리한 R.G.B 분광(색도) 측정 관리
2가지 두께 관리 mode 지원(Operator mode / Engineer mode)
빠른 측정 속도
사용목적에 따라 Option 추가 가능
Pattern matching 기능 지원
초정밀, 초고감도 측정기기

 용도

Color filter process 전용 분광(색도)측정기
Color filter전용 두께 측정기
빠른 분광 측정 속도에 따른 공정 수율 향상 목적



 Stage size 370mm x 470mm ~
 Measurement range 380㎚~780㎚
 Spot size 수광: 40㎛, 20㎛
하부: 20㎛ or 10㎛
 Chromaticity result XYZ, xy, u´v´, u*v*, Lab, L*a*b*
 Application areas Color filter(R.G.B PR) process
LCD C/F process

 Function

R.G.B color PR chromaticity measurement
Transmittance measurement
상. 하부 Gantry type (Stack type 변경 가능)
Full automatic chromaticity measurement
Fine pattern measurement
Auto focusing
CCD camera
Pattern recognition
CIM communication

 Option

Thickness measurement for ?R.G.B Photo resist
OD(Optical Density)(광밀도) measurement for BM(Black Matrix) of polymer
CD (Critical Dimension)(선폭) measurement for R.G.B photo resist
R/S(Resistance Sheet)(면저항) measurement for ?ITO