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SND는 LCD Process 상 CVD, Dry 전용 두께 측정을 최적화한 System으로, 상. 하부 측정용 Optic Head를 통한 N+ Depth량의 실시간 측정이 가능합니다. Robot을 이용하거나 수동으로 Glass를 1매씩 Loading하여 Transparent thin film의 두께 및 N+ Depth량, CD(선폭)을 비 접촉, 비 파괴의 광학적 방법으로 측정합니다.
사용 목적에 따라 Half Tone PR(RT PR) 측정을 옵션으로 선택 할 수 있으며, CIM S/W 기능 지원이 가능하여 매 측정 결과를 편리하게 Host에 전송 할 수 있습니다.



 측정원리 Reflectometry
 시스템 구성

Programmable automatic stage for 상부 두께 측정용 head moving: 1 set
Programmable automatic stage for 하부 두께 측정용 head moving: 1 set
Programmable automatic stage for glass moving: 1 set
Work plate for glass loading : 1 set
Housing / cover: 1 set
Control unit: 1 set
Anti-vibration table: 1 set
Standard reference materials: 1 set

 특징

비 접촉, 비 파괴 검사
N+ Depth 량 실시간 측정, CD(Critical Dimension)(선폭) 측정
3 Mask용 시료 두께 측정
편리한 두께 측정 관리
2가지 두께 관리 Mode 지원(Operator mode / Engineer mode)
Glass scratch 방지를 위한 air blowing System
사용목적에 따라 Option 추가 가능
Pattern matching 기능 지원
초정밀, 초고감도 측정기기

 용도

LCD Process 상 CVD, Dry 전용 광학식 두께 측정
빠른 두께 측정 속도에 따른 공정 수율 향상



 Stage size 370mm x 470mm ~
 Measurement range 100Å~35㎛ (Depend on materials)
 Spot size 상부: 20㎛, 10㎛, 2㎛, 0.15㎛(Option)
하부: 2㎛
 Application areas LCD Process CVD, Dry
3 Mask, 4 Mask
 Function All capabilities of ST6000
N+ Depth measurement
CD(Critical Dimension) measurement
Fine pattern measurement
Auto focusing
CCD Camera
Pattern recognition
CIM communication
 Option Transmittance(투과율) measurement
RI(Reflect Index)(굴절률) measurement
Half Tone PR(RT PR) thickness measurement