제품소개 > 중소형 분석/측정장비 > 박막두께 측정기




   
 
  Reflectometer 방식을 적용하여 시료의 두께를 분석하는 장비로 박막이 투명하고 광간섭성을 유지할 수 있다면 어떠한 종류의 시료라도 측정할 수 있으며, 다층 박막구조도 각각의 박막 두께를 측정할 수 있는 장정을 가지고 있습니다. 측정 시료의 표면을 손상하지 않으면서 측정이 용이하고, 빠른 속도로 수 Å에서부터 수십 ㎛ 수준의 두께를 측정할 수 있습니다. 저예산으로 두께 측정장비를 구매하고자 하시는 대학내 연구실에 적합한 모델입니다.


 장비방식 수동형(Manual Type)
 측정 시편 ≤ 6" 대응
 측정 형태

비접촉시

 측정 원리

반사량에 근거하여 두께를 측정(Reflectometer)

 특징 두께변화량을 실시간으로 측정, 시각별로 디스플레이 출력 가능
Windows 기반의 S/W로 Excel, Origin, MS-Word 등으로 측정 결과 저장 가능
다양한 n, k 모델 지원 (Cauchy, Cauchy Expotential, Sellmeier)
측정 속도 우수, 측정 방법 간편


  Stage Size 150 x 120mm(70 x 50mm Travel Distance)
  Measurement Range 500Å~ 35㎛(Depends on Film Type)
  Spot size 1mm Typically
  Measurement Speed 1~2 sec./site
  Application Areas Polymers : PVA, PET, PP, PR ...
Dielectrics :?
Semiconductors : Poly-Si, GaAs, GaN, InP, ZnS...
  Option Reference Sample(K-MAC)
  Nosepiecs Quadruple Revolving Mechanism with Inward Tilt
  Type of Illumination 5V 6W Halogen Lamp Built-in Control Device & Transformer

  Window 기반의 사용자 편의적 인터페이스
  Excel, Html 및 Database와 자동으로 연동
  파장대별 반사도 및 흡수율 확인 가능