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 | 제품소개 > 중소형 분석/측정장비 > 박막두께 측정기 |
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 Reflectometer 방식을 적용하여 시료의 두께를 분석하는 장비로 박막이 투명하고 광간섭성을 유지할 수 있다면 어떠한 종류의 시료라도 측정할 수 있으며, 다층 박막구조도 각각의 박막 두께를 측정할 수 있는 장정을 가지고 있습니다. 측정 시료의 표면을 손상하지 않으면서 측정이 용이하고, 빠른 속도로 수 Å에서부터 수십 ㎛ 수준의 두께를 측정할 수 있습니다. 저예산으로 두께 측정장비를 구매하고자 하시는 대학내 연구실에 적합한 모델입니다. |
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| 장비방식 |
수동형(Manual Type) |
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| 측정 시편 |
≤ 4" 대응 |
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| 측정 형태 |
비접촉식 |
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| 측정 원리 |
반사량에 근거하여 두께를 측정(Reflectometer)
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| 특징 |
두께변화량을 실시간으로 측정, 시각별로 디스플레이 출력 가능
Windows 기반의 S/W로 Excel, Origin, MS-Word 등으로 측정 결과 저장 가능
다양한 n, k 모델 지원 (Cauchy, Cauchy Expotential, Sellmeier)
측정 속도 우수, 측정 방법 간편 |
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Stage Size |
210 x 140mm (75 x 50mm Travel Distance) |
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Measurement Range |
200Å~ 35㎛(Depends on Film Type) |
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Spot size |
20㎛ Typically |
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Measurement Speed |
1~2 sec./site
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Application Areas |
Polymers : PVA, PET, PP, PR ...
Dielectrics :?
Semiconductors : Poly-Si, GaAs, GaN, InP, ZnS... |
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Option |
Reference Sample(K-MAC or KRISS or NIST) |
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Head |
Trinocular Head |
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Nosepiecs |
Quadruple Revolving Mechanism with Inward Tilt |
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Type of Illumination |
12V 35W Halogen Lamp Built-in Control Device & Transformer |
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| Window 기반의 사용자 편의적 인터페이스 |
| Excel, Html 및 Database와 자동으로 연동 |
| 파장대별 반사도 및 흡수율 확인 가능 |
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