제품소개 > 중소형 분석/측정장비 > 박막두께 측정기




   
 
  측정 시료를 광학적 방법으로 분석하는 방법의 측정장비입니다. 현미경이 없는 Head 형태의 타입으로서 공정장비에 부착하여 실시간으로 두께 관리가 가능합니다. Spin Coater, Slit Coater, Roll Printer 등 각 종 공정장비에서 PLC와 연결하여 제어가 가능합니다. 그리고 또한 Color 계열 및 다양한 박막측정을 위해 다양한 Application이 준비되어 있습니다.


 치수와 제어 구성 System size : 220 x 300 x 98 mm
Weight:: 10 kg
 광학측정 파트(헤드) Used wavelength range : 400~800nm(option 900~2100nm)
Detector: Linear silicon CCD array
 측정광원 Tungsten-Halogen stabilized technical lamp
Specification : 12V, 100W
Color temperature : 2,800K
Life Time : Approx 1500hours
 측정 포인트 크기
 광 파이버 Choose Wavelength : 300~800nm(option 900~2100nm)
Fiber diameter: 200um


  Measurable Wavelength range 400 ~ 800nm (Option:900 ~ 2100nm)
  Detector (Linear Array Type) 2048 pixels
  Fiber 200㎛ (Core)
  Theoretical resolution

1.5 nm

  Measurement spot size About 2mm
  Measurement Material Transparent Layer
  Thickness measurement range 1㎛ ~ 40㎛(depending on materials)
  Repeatability (1sigma) 15A at 20,000A (Actual Sample)
  Repeatability (1sigma) 10A at 20,000A (SiO2 on Si-Wafer : KMAC SRM)
(Continuously, Measuring the same point 30 times)
  Measuring Speed ≤ 2sec/ point (Without Moving)
  Multi-layer measurement Single layers (Depends on materials)

  Window 기반의 사용자 편의적 인터페이스
  Excel, Html 및 Database와 자동으로 연동
  PC 통신 및 PLC 통신 연동