제품소개 > 중소형 분석/측정장비 > 박막두께 측정기




   
 
    Reflectometer를 적용하여 측정 시료의 두께를 광학적 방법으로 분석하는 측정장비입니다. 2”에서 12”까지 다양한 크기의 wafer sample뿐만이 아니라 370*470 size까지의 glass sample의 측정이 가능하며 시료에 따른 Stage 및 맞춤형 프로그램으로 투과도 측정도 가능하게 되어있습니다. 안정적인 광학계를 통해 R&D 및 생산현장에서 다양한 박막측정을 위해 다양한 application이 준비되어 있습니다.


 장비방식 수동형(Manual Type)
 측정 시편 ≤8", 12"
 측정 형태 비접촉식
 측정 원리

반사량에 근거하여 두께를 측정(Reflectometer)

 특징 두께변화량을 실시간으로 측정, 시각별로 디스플레이 출력 가능
Windows 기반의 S/W로 Excel, Origin, MS-Word 등으로 측정 결과 저장 가능
다양한 n, k 모델 지원 (Cauchy, Cauchy Expotential, Sellmeier)
측정 속도 우수, 측정 방법 간편


  Stage Size 200 x 200mm (Basic), 300 x 300mm (Option)
  Measurement Range 100Å~ 35㎛(Depends on Film Type)
  Spot size 40㎛/20㎛, 4㎛(option)
  Measurement Speed 1~2 sec./site
  Application Areas All Capability of ST2000 & More Precision Measurement
Intended for Wafer Measurement & OELD
  Option Programmable Auto Z Stage
Reference Sample(K-MAC or KRISS or NIST)
Transmittance Module
  Focus Coaxial Coarse and Fine Focus Controls
  Incident illumination 12v 100W Halogen Lamp
  크기 1500 x 610 x 640 mm
  무게 45Kg

  Window 기반의 사용자 편의적 인터페이스
  Excel, Html 및 Database와 자동으로 연동
  파장대별 반사도 및 흡수율 확인 가능
  다양한 n.k 모델 지원