제품소개 > 중소형 분석/측정장비 > 박막두께 측정기




   
 
    측정 시료의 두께를 광학적 방법으로 분석하는 장비로서 2”에서 12”까지 다양한 크기의 wafer sample뿐만이 아니라 370*470 size까지의 glass sample의 측정 또한 가능합니다. X-Y축 방향의 auto stage의 적용으로 편리한 측정을 진행이 가능합니다. 2D, 3D Mapping 기능을 통해 시료전면에 대한 두께차이를 한번에 확인 할 수 있도록 하여 줍니다.


 장비방식 자동형 (Auto Type)
 측정 시편 ≤ 4"
 측정 형태 비접촉식
 측정 원리 반사량에 근거하여 두께를 측정(Reflectometer)
 특징 두께변화량을 실시간으로 측정, 시각별로 디스플레이 출력 가능
Windows 기반의 S/W로 Excel, Origin, MS-Word 등으로 측정 결과 저장 가능
다양한 n, k 모델 지원 (Cauchy, Cauchy Expotential, Sellmeier)
2D,3D Mapping data Display (point by point)
Semi-automatic mechanism stage control
측정 속도 우수, 측정 방법 간편
CCD Camera + Auto Focusing


  크기 500 x 750 x 650 mm
  무게 80Kg
  Stage Size 300mm x 300mm
  Measurement Range 100Å~ 35㎛(Depends on Film Type)
  Spot size 40㎛/20㎛,4㎛(option)
  Measurement Speed 1~2 sec./site(fitting time)
  Application Areas All Capability of ST2000 & More Precision Measurement
Intended for Large Size Wafer Measure
  Option Transmittance Module
Reference Sample(K-MAC or KRISS or NIST)
  Revolving nosepiece Quintuple Revolving Nosepiecs
  Focus Coaxial Coarse and Fine Focus Controls
  Incident illumination 12v 100W Halogen Lamp

  Window 기반의 사용자 편의적 인터페이스
  Excel, Html 및 Database와 자동으로 연동
  파장대별 반사도 및 흡수율 확인 가능
  다양한 n.k 모델 지원
  2D, 3D Mapping 기능 지원