¾È³çÇϼ¼¿ä.
ÇöÀç ALD °úÁ¦¸¦ ¼öÇà ÁßÀ̸ç ALD ¹Ú¸·ÀÇ µÎ²² ÃøÁ¤ÀÌ °¡´ÉÇÑ ±â±â¸¦ ±¸¸ÅÇϰíÀÚ ÇÕ´Ï´Ù.
ÃøÁ¤ ½ÃÆíÀº 300 mm ½Ç¸®ÄÜ ¿þÀÌÆÛÀÔ´Ï´Ù.
¿þÀÌÆÛ À§ 10 nm ÀÌ»ó ¹× ÀÌÇÏ ÃøÁ¤ °¡´ÉÇÑ ¹Ú¸·ºÐ¼®µÎ²²ÃøÁ¤±â¿¡ ´ëÇÑ °ßÀûÀ» °¢°¢ ºÎŹ µå¸³´Ï´Ù.
°¨»çÇÕ´Ï´Ù.